НашСамогон - самогонные аппараты, дубовые бочки, винные и турбо дрожжи, электроника и оборудование для производства алкоголя в домашних условиях.
04.02.2015

Прошла успешная сдача установки серии Irida заказчику.

3 февраля 2015 года были успешно проведены приемо-стадочные испытания установки IridaPE21 в технологическом процессе травления SiO2.  

новость.jpg



Установка плазмохимического травления IridaPE21 предназначена для плазмохимического травления подложек диаметром до 200мм.

Irida PE21 обеспечивает травление кремнийсодержащих слоев (оксиды, нитриды, поликремний, КНС, монокристаллический кремний), кварцевые подложки, пьезокварц со скоростями до 1 мкм/мин с хорошим качеством поверхности на глубину более 100 мкм.

Irida PE21 может использоваться как одиночная установка, оснащенная шлюзовым устройством с поштучной загрузкой подложек, так и в составе кластерного комплекса, содержащего до 4 технологических модулей и систему загрузки из кассеты в кассету.  

1,2.jpg