НашСамогон - самогонные аппараты, дубовые бочки, винные и турбо дрожжи, электроника и оборудование для производства алкоголя в домашних условиях.

«Вакуумная технология и оборудование для нанесения и травления тонких пленок»

05.10.2012

«Вакуумная технология и оборудование для нанесения и травления тонких пленок»

Книга
Берлин Е.В., Двинин С.А., Сейдман Л.А.

 Проспект книги
Берлина Е.В., Двинина С.А., Сейдмана Л.А.
«Вакуумная технология и оборудованиедля нанесения и травления тонких пленок»

Книга основана на опыте многолетней работы авторов в области производства изделий электронной техники.
Цель создания книги – восполнить существующий пробел в выпускаемой ныне технической литературе, в которой практически уже много лет отсутствуют книги, описывающие и обобщающие современное состояние одной из отраслей производства изделий электронной техники: вакуумной технологии и оборудования для нанесения и травления тонких пленок.
Книга содержит подробное описание:

  1. вакуумных напылительных установок для получения тонких пленок различного назначения,
  2. вакуумных плазмохимических установок для травления тонких пленок с целью получения на них заданной топологии,
  3. технологических особенностей получения методами вакуумного нанесения тонких пленок из различных материалов (резистивных, проводящих, диэлектрических),
  4. конструкций магнетронных источников и технологических особенностей их применения для нанесения тонких пленок,
  5. теоретические основы, модели, способы управления и примеры использования реактивного магнетронного напыления,
  6. принципы построения и применения среднечастотных источников питания для реактивного магнетронного напыления,
  7. способы достижения равномерности толщины и снижения дефектности получаемых покрытий,
  8. теоретические основы и физические принципы построения новой конструкции источника высокочастотного разряда низкого давления (антенны),
  9. исследования работы антенны нового типа для ионного или плазмохимического травления тонких пленок и/или их стимулированного плазмой осаждения.

Таким образом, содержанием книги является современный опыт исследовательской, технологической и конструкторской работы передовых отечественных предприятий и многочисленных зарубежных исследователей.

Объем книги составляет 172 страницы, содержащие кроме текста таблицы и рисунки.
Она состоит из следующих частей:

  • введение,
  • часть 1я, посвященная напылению тонких пленок, состоит из 11 глав,
  • часть 2я, посвященная плазмохимическим процессам травления пленок и стимулированного плазмой осаждения, состоит из 10 глав,·
  • список использованных литературных источников, содержащий 150 ссылок на работы отечественных и зарубежных авторов.

Книга рассчитана на специалистов научно-исследовательских лабораторий, конструкторских бюро и производственных подразделений предприятий, занимающихся разработкой и изготовлением различных изделий электронной техники, и оборудования для их производства.
Она также будет полезна студентам старших курсов и аспирантам соответствующих специализаций.

bookcover.jpg